中微公司华南总部研发及生产基地项目开工建设

（原标题：中微公司华南总部研发及生产基地项目开工建设）

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9月19日，中微公司于广州市增城经济技术开发区举办开工仪式，宣布其旗下的华南总部研发及生产基地项目正式开工启动。

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据悉，随着中微半导体设备（广州）有限公司（简称“中微广州”）的发展以及广州研发及生产基地建设的启动，中微公司将进一步增强产品研发与先进制造能力，全面深化在半导体及泛半导体产业链的战略布局，持续巩固其在全球高端半导体设备领域的领先地位。

活动现场，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在致辞中表示，数码产业是现代工业和国民经济发展的引擎，集成电路和各种微观器件是数码产业的核心。目前公司的三十多种设备已经覆盖半导体高端设备的25%到30%，在今后的五到十年，公司计划通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%，发展成为平台型的集团公司。广州研发及生产基地项目的启动，是中微公司深入推进“三维发展”战略的重要实践，将为公司多元化布局和实现高质量发展打下坚实的基础。

按规划，中微公司华南总部研发及生产基地总体规划占地约130亩，此次开工建设的一期项目占地约50亩，预计2026年年底建成，2027年计划投产。基地建成后将聚焦大平板显示设备领域的研发与生产，并将逐步拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。随着中微公司华南总部研发及生产基地的建设启动，将为公司不断提升研发及生产能力提供有力保障。

谈及平板设备业务的发展，中微公司集团副总裁、中微广州公司总经理张凯表示，广州研发及生产基地项目的启动，彰显了中微公司依托半导体设备领域的深厚基础，跨界发展、迅速开拓新兴应用领域的强大能力，同样也体现了广东各级政府创新的工作思路和务实的工作作风，加速了中微公司产品研发及成功产业化的进程。

资料显示，中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收入年均增长大于35%。 在2024年销售额同比增长44.7%的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9%，达到49.61亿元。

公司持续加大研发力度，2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%， 研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发；在泛半导体微观制造领域，中微公司不断拓展产品布局，包括新一代TSV深硅刻蚀设备和PVD及CVD设备，大平板显示技术，智能玻璃和玻璃基板的大平板设备领域所需的薄膜设备及等离子体刻蚀设备等众多产品。

截至2025年6月底，公司累计已有超6800台等离子体刻蚀和化学薄膜设备的反应台，在国内外155条生产线实现量产和大规模重复性销售。